FEI Quanta FEG 450
Cihaz Bilgisi:
Alan Emisyonlu Taramali Elektron Mikroskobu (FEG-SEM) ikincil ve geri sacilan elektronları kullanarak örnek yüzeyinden yüksek çözünürlüklü görüntü alınmasını sağlayan sistemler olup, örnek yüzeyinin düşük büyütmelerden çok yüksek büyütmelere (x900.000 veya daha fazla) kadar morfolojik, yapısal ve elementel bilgilerin alınmasında kullanılmaktadır. Laboratuvarımızda yer alan Quanta FEG 450 Taramalı Elektron Mikroskobunda elektron kaynağı olarak yüksek çözünürlükte görüntü almayi sağlayan Field Emission GUN (FEG) kullanılmaktadır. İlekten malzemeler için yüksek vakum, yalıtkan malzemeler için kaplama yapmaya gerek duymadan görüntü alınabilen düşük vakum (LFD) ve ESEM modu kullanılabilmektedir, Cihazda Energy Dispersive X-ray Spectroscopy (EDS) özelliği bulunmakta bu sayede nokta ve alan taraması ve analitik haritalama yapılabilmektedir.
Cihazın Kullanım Alanları:
Cihazın Teknik Özellikleri:
* 14X-1.000.000X arası büyütme kapasitesine sahiptir.
* Elektron Kaynağı Alan Yayınımlı Kaynak (FEG) tır.
* EDAX X-ray analiz spektrometrelerine sahiptir.
* High vacuum, Low vacuum ve ESEM olmak üzere 3 farklı vakum sistemine sahiptir.
* Secondary (ETD), Backscattered (BSED), LTD, GSED ve X-ray elektron dedektörüne sahiptir.
* Numune tablası hareketleri minimum X=50 mm Y=50 mm Z=50 mm Tilt= -150-750, Dönme= 360 derece donme ile çalışmaktadır.